数字序号

各称

主要参数陈述

1

防电磁辐射

利用X放射性元素源，有豁免技能证书

2

扫视架

高精密O型架机构维持暂时自动运行可靠性

3

测试快速

1.0 〜 18m/min（可手动调节）

4

取样频点

200kHz（200000个測量值/秒）

5

死机事件

＜1ms

6

估测条件

3至105μm

7

在测量重覆精准度

±2sigma≤真识值*0.2‰or±0.05g/㎡

8

測量幅宽

1300-1700mm

9

衡量甄别率

0.001μm

10

相关的性R²

＞99%