光电器件膜涂抹、太阳时能晶圆、纤薄玻璃窗、封箱胶纸、Mylar膜、OCA光电器件胶、光阻等预估。

用在涂胶道工序时，该机 可保存于涂胶池后、真空烘箱前，优酷云在在测量方法涂胶的宽度; 也还可以优酷云在在测量方法离型膜涂布纸的宽度。其精准度特别高，用甚广，非常最适合宽度耍求符合纳米级级的合理多层高层方式的宽度在在测量方法。

商品能/运作

精确测量范畴内: 0.1pm~100μm

測量要求: 0.4%

在线测量相似性: ±0.4nm (3σ )

激发光谱领域: 380nm~1100nm

卡死時间: 5~500ms

测试黑斑: 1mm~30mm

动态数据扫面在测量重覆性:10nm